HALO 3 HF (CRDS 超微量フッ化水素分析計)
高純度ガス中のメタンを低ppbレベルで測定できる、コンパクトなオンライン分析計です。
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- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- NF3・SF6・フッ化炭素製造や半導体用途向けの微量HF分析計。一桁ppbの検出能力を持つ。
- 主な特長
- 絶対測定方式で校正不要、幅広い測定レンジ、コンパクト設計、クリーン・テクノロジーで校正ガス不要。
- 出力・通信
- 4-20mA出力、5.7"タッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 標準222×218×599mm、ラックタイプ(2台搭載)222×483×599mm、重量12.7kg。
- 差別化ポイント
- スパン校正・精製器交換・ポンプオーバーホールが不要で、半導体製造等のHF不純物管理に最適。