HALO LP H2O (CRDS 超微量水分計)
高純度ガス中のメタンを低ppbレベルで測定できる、コンパクトなオンライン分析計です。
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- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- NH3・PH3・AsH3など水素化物ガス中の微量水分を測定する専用分析計。ppbレベルの低濃度検出が可能。
- 主な特長
- 絶対的測定技術で校正不要、4桁のダイナミックレンジ、低所有コスト、任意設定可能なアラームで異常を即座通知。
- 出力・通信
- 4-20mA出力、5.7"タッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 標準222×218×599mm(15.0kg)、19"ラックタイプ(2台搭載)222×483×599mm。真空源が必要。
- 差別化ポイント
- アンモニア・ホスフィン等の水素化物ガス専用設計で、半導体製造プロセスの水分管理に特化。