HALO RP (CRDS 超微量水分計)
高純度ガス中のメタンを低ppbレベルで測定できる、コンパクトなオンライン分析計です。
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- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- 減圧条件下での微量分析専用機。H2OまたはHFの検出に対応し、50Torr〜15psigの圧力範囲で動作する。
- 主な特長
- 不活性・酸性・水素化物ガス中でppbレベル検出、絶対的測定方式で校正不要、4桁以上のダイナミックレンジ、SEMI-F112規格準拠のCRDS技術。
- 出力・通信
- 4-20mA(絶縁)出力、5.7"LCDタッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 標準222×218×670mm(13.4kg、遮断バルブ含む)、センサーラック(2台搭載)222×483×670mm。真空源が必要。
- 差別化ポイント
- 半導体ファブの配管・チャンバー直前など、後工程での微量水分・HF汚染を検知し歩留まり低下を防止する点に特化。