HALO QRP (CRDS 超微量水分計)
高純度ガス中のメタンを低ppbレベルで測定できる、コンパクトなオンライン分析計です。
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- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- 50Torr未満の低圧プロセス向け専用水分分析計。検出下限1μTorr分圧(H2O)以下を実現する高精度機種。
- 主な特長
- 絶対的な精度と優れた精密性、4桁以上のダイナミックレンジ、低所有コストで操作簡単、OEM機器組込みに適したコンパクト設計。
- 出力・通信
- 4-20mA(絶縁)出力、5.7"LCDタッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 標準222×218×670mm(13.6kg、遮断バルブ含む)、センサーラック(2台搭載)222×483×670mm。真空源が必要、1Torrまで動作可能。
- 差別化ポイント
- LTE・ALD・MOCVDなど大気圧以下で稼働する半導体プロセスのロードロック・チャンバー内水分残留を直接検証できる点が独自。