Go-cart (GO-cart AMCモバイル・カート)
半導体fab内を移動しながら、HF・HCl・NH3などのAMCをリアルタイム監視できるモバイルカートです。
製品（セル等含む）に関するお問い合わせ
- 用途： 微量（PPM）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- T-I Maxシリーズ分析計を最大3台搭載できる移動式AMC(空気中分子汚染物質)監視カート。ファブ内を自由に移動できる。
- 主な特長
- 校正・メンテナンス・消耗品不要、低電力ファンレス真空ポンプ内蔵、上部に中央制御タッチスクリーン、UPS電源(オプション)搭載可能。
- 出力・通信
- 10.4"中央制御タッチスクリーンで搭載分析計全てを統合管理。各T-I Max(NH3・HCl・HF)は個別表示も可能。
- 筐体・設置
- 寸法1270×580×910mm(50×23×36inch)、重量118kg(分析計含まず)。本体材質はアルミニウム、移動用キャスター付き。
- 差別化ポイント
- NH3・HCl・HFを同時にリアルタイム監視可能で、ファブ内の複数の微小環境を1台で迅速に調査できる柔軟性が強み。