- 製品概要
- 半導体クリーンルームやFOUP内のHF・NH3・HClの3種類のAMC(空気中分子汚染物質)を同時かつリアルタイムで連続監視するモニターです。
- 主な特長
- CRDS方式による絶対測定で、ppt(兆分率)レベルの検出限界とドリフトフリーを実現。消耗品・校正ガス不要で低COOを実現します。
- 出力・通信
- 4-20mA絶縁信号出力、10.4型タッチパネル、Ethernet(10/100 Base-T)、USB、RS-232/485、オプションでModbus TCPに対応します。
- 筐体・設置
- ラックマウント型(外部パーティクルフィルター無し)。222×483×666mm、重量28kg(真空ポンプ別)、真空源(<10Torr)が必要です。
- 差別化ポイント
- HF/HCl/NH3の3物質を1台で同時測定でき、HFで検出下限40pptを達成。年次性能検証もリモートで低コストに実施可能です。