HALO OK (CRDS 超微量酸素分析計)
超高純度ガス中のO2をpptレベルで測定が可能。CO2中の超微量O2測定が可能です。
製品（セル等含む）に関するお問い合わせ
- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- 半導体用超高純度ガス中の微量酸素を測定する酸素分析計。検出下限20pptと業界トップクラスの性能。
- 主な特長
- 低1桁ppbの検出性能、広いダイナミックレンジ、1分以内の応答性、校正用ガス不要の低保守運用が特長です。CO2向けの専用モデルも用意されています。
- 出力・通信
- 4-20mA出力、5.7"タッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 19"ラックタイプ222×483×599mm、重量20.4kg。ゼロ・ガスパネル等のオプション追加可能。
- 差別化ポイント
- 特許触媒変換技術と液体不要センサーで、SEMI F-112規格に適合した水分ドライダウン評価が可能。