T-I Max HF (CRDS 超微量フッ化水素分析計)
H2O・NH3・CH4のいずれかをpptレベルで測定できる、超高純度ガス向けの高性能分析計です。
製品（セル等含む）に関するお問い合わせ
- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- 半導体クリーンルーム内のHF分子汚染物質(AMC)を高感度・高速検出する次世代モニター。
- 主な特長
- CRDSによる絶対測定技術、応答速度が飛躍的に向上、ppt検出下限、世界基準ラボにトレーサブルな校正。
- 出力・通信
- 4-20mA出力、5.7"タッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 標準222×218×599mm(15kg)、移動式GO-cart(最大3台搭載、1270×548×914mm、118kg)も用意。。
- 差別化ポイント
- 移動式GO-cartにより工場内の複数微小環境を迅速に調査でき、年次性能検証もリモートで実施可能。