T-I Max X3 (CRDS 超微量NH3･HCl･HF分析計)
高純度ガス中のメタンを低ppbレベルで測定できる、コンパクトなオンライン分析計です。
製品（セル等含む）に関するお問い合わせ
- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- HF・NH3・HClをpptレベルで同時測定するAMCモニター。CRDS採用で半導体クリーンルームの連続監視に最適な高感度・高速応答モデル。
- 主な特長
- CRDSによる絶対測定、ppt検出、干渉耐性、校正不要、消耗品ゼロ。高速応答と高選択性でAMCの連続監視を高信頼で実現。
- 出力・通信
- 4–20mA、Ethernet、USB、RS-232/485、Modbus TCP対応。5.7インチタッチ操作と内部/外部メモリ保存に対応。
- 筐体・設置
- 1/4" PFA接続、3 slpm流量、真空排気構成。19インチラック対応のコンパクト筐体でクリーンルームや装置組込みに適合。
- 差別化ポイント
- 3成分同時測定、ppt検出、ドリフトゼロ、校正不要、消耗品不要。AMC対策で他方式を上回る感度・応答・運用効率を提供。