T-I Max EtO (CRDS 極微量エチレンオキシド分析計)
H2O・NH3・CH4のいずれかをpptレベルで測定できる、超高純度ガス向けの高性能分析計です。
製品（セル等含む）に関するお問い合わせ
- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- EtOをppbレベルで高速・連続測定するレーザー式トレーサー。校正不要でNESHAP対応の極低濃度監視を実現し、漏洩検知や施設全体の曝露管理に最適。
- 主な特長
- 絶対測定で校正ガス不要、消耗品ゼロ。T90＜3分の高速応答、ppb級LDL、低メンテで長期安定。空気・CDA・N₂に対応し、施設のEtO監視を効率化。
- 出力・通信
- 4–20mA、Ethernet、USB、RS‑232/485、Modbus TCP対応。内部/外部ストレージで長期ログ取得可能。2系統アラーム＋システム故障リレー搭載。
- 筐体・設置
- 316L配管・1/4" VCR接続、約1 slpm流量。8.7×8.6×23.6インチのコンパクト筐体で設置容易。10–40℃環境で安定稼働し、CE取得済み。
- 差別化ポイント
- 校正不要の絶対測定、1 ppb LDL、迅速応答、低所有コストが強み。NESHAP対応の高感度EtO監視を単体で実現し、他方式より運用負荷が大幅に低い。