HALO OK+ (CRDS 超微量酸素分析計)
高純度ガス中のメタンを低ppbレベルで測定できる、コンパクトなオンライン分析計です。
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- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- 半導体用超高純度ガス中の微量酸素を測定する分析計。検出下限20pptと業界トップクラスの性能。
- 主な特長
- 超高速応答(Speed+)、CO2含む多種ガス中で測定可能、センサー交換不要、軽いガスでも誤スパイクなし。
- 出力・通信
- 4-20mA出力、5.7"タッチスクリーン、Ethernet/USB/RS-232/RS-485/Modbus TCP(オプション)。
- 筐体・設置
- 19"ラックタイプ222×483×599mm、重量20.4kg。ゼロ・ガスパネル等のオプション追加可能。
- 差別化ポイント
- 特許触媒変換技術と液体不要センサーで、SEMI F-112規格に適合した水分ドライダウン評価が可能。