CQC/IQCシステム (Integrated Process Solutions CQC/IQC 半導体バルクガス統合監視ソリューション)
半導体向けの複数バルクガスを、リアルタイムかつ自動切替で監視できる統合品質管理ソリューションです。
製品（セル等含む）に関するお問い合わせ
- 用途： 超微量（PPT～PPB）
- 測定方式： CRDS
- 製品概要
- 半導体バルクガス・ASU用のCQC/IQCを目的とした、CRDS/APIMS技術を統合したカスタム型リアルタイム純度モニタリングシステムです。
- 主な特長
- N2・Ar・He・H2・O2・XCDA・CO2の全バルクガスに対応し、検出限界10ppt(APIMS)を実現。校正不要・ヘリウム不要で低コストです。
- 出力・通信
- 4-20mA信号出力、15.6型タッチパネル、Ethernet(10/100 Base-T)、USB、RS-232/485、オプションでModbus TCPに対応します。
- 筐体・設置
- ラックマウント型システム。寸法195.6×58.4×80cm、重量136kg、サンプル流量約10slpm、設置から数時間で稼働可能です。
- 差別化ポイント
- 独自のPneumalogic™技術により単一ガス弁のみを開放し逆流を物理的に防止。CRDS+APIMSの組合せで複数ガスを1台で同時カバーできます。